随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间温度不宜超过25度,湿度过高产生的问题更多。实验室空气净化工程的费用根据实验室的大小、实验需求、空气净化系统的类型和配置等因素来确定。浙江PCR实验室净化工程价格
常见的实验室净化工程装修材料有夹心彩钢板、钢化玻璃、防火板等,洁净实验室必须按照《洁净室施工与验收标准》采用可以较好的密封并且不产尘的材料进行隔断、吊顶装修,洁净实验室通风系统一般采用组合式空调机组,其送风系统与各业洁净室工程不同的地方是,不是所有实验室都可以设置回风系统的,这需要根据用户实验室的用途以及实验产品而定。类似于生物安全类实验室就不可以做回风系统,或者说我们要以全排式洁净室的做法来施工。石家庄实验室净化工程实验室内空气的流动方式为循环式,即从排风口到送风口的气流在室内不断循环流动。
净化原理如下:气流→初效空气处理→空调→中效空气处理→风机送风→净化管道→高效送风口→洁净室→带走尘埃(细菌) → 回风夹道→新风、初效空气处理。重复以上过程,即可达到净化目的。实验室净化工程的结构材料:1、洁净室墙、顶板材料一般采用50mm厚的夹芯彩钢板、净化专门使用的氧化铝型材制造。门采用净化密闭门,窗采用铝合金玻璃固定窗。2、地面采用环氧自流平或高级耐磨塑料洁净地板。3、净化通风管道选用镀锌薄钢板制作,并采用“PEF”阻燃型的保温板做保温。
实验室净化工程装修中,各种管道纵横交错,有风管、消防水管、热水管、氧气管,有的部位穿插达四层之多。无尘净化车间内的这些管道一般都设在吊顶上,而洁净管道的安装是主要,要求从管道生产制作到安装每一步,技术以及相应措施都要到位,否则很难保证洁净度。另外门窗安装于内外墙抹灰、外墙面砖粘贴综合安排,统筹考虑,才能确保门缝、窗缝严密,保证洁净车间、无尘室的洁净度。实验室净化工程是除了对实验样品的安全起到保护的作用之外,也是为实验成功与实验人员的安全保驾护航的重大措施之一。实验室内的换气次数一般要求达到每小时10次以上,以室内空气的清新和人员的身体健康。
紫外线杀菌灯的杀菌力随时间的增加而减退,以点燃100h的输出功率为额定功率,把紫外线灯点到70%额定功率的点灯时间定为平均寿命,当紫外灯使用时间超过平均寿命时,就达不到预期效果,此时必须更换,一般国产紫外灯的平均寿命为2000h。紫外灯的辐射强度随照射距离的增加而减弱。以某厂生产的30w紫外线灯管的测试数据为例,辐射距离为1m时辐射强度为72μw/c㎡,距离为2m时为19.5μw/c㎡,距离为3m时为8μw/c㎡。因此在考虑紫外线杀菌灯的灭菌效果时,不能忽略安装高度对其的影响。不同类型的实验台和设备之间应设置合适的间隔和隔离措施,避免交叉污染和安全事故。浙江PCR实验室净化工程价格
定期对实验室的室内空气质量进行监测和检测,确保空气净化系统的正常运行和净化效果的达标。浙江PCR实验室净化工程价格
相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清理。相对湿度越高,粘附的越难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产较佳湿度范围为35—45%。气压规定。对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。浙江PCR实验室净化工程价格